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设计了测量氧化铝湿度传感器的湿度源装置,该装置由5个固体干燥剂湿度源单元组成。实验了露点9.3~-33.5;9.3~-65.2℃;-14.5~-65.2℃;-65.2~-14.5℃转换时的平衡时间特性,实验验证了湿度源单元的准确性。结果表明:露点-65.2~-14.5℃转换时的平衡时间小于2 min,固体干燥剂湿度源装置可满足氧化铝湿度传感器实验测量需要。