CeO2-Co3O4纳米晶粒对甲烷气敏性影响分析

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为了快速准确检测矿井中的甲烷气体浓度,以直接沉淀法制备了不同含量CeO2的CeO2-Co3O4纳米晶粒。利用掩膜法将制备的CeO2-Co3O4纳米晶粒镀膜于氧化硅绝缘层表面形成敏感薄膜,采用标准MEMS工艺制作了一种薄膜型甲烷传感器。采用X射线衍射仪表征了CeO2-Co3O4纳米晶粒的相组成和微观形貌,利用全自动程序化学吸附仪分析了CeO2-Co3O4纳米晶粒对甲烷的吸附机理。在气体传感器静态测试系统上,测试了甲烷传感器灵敏度、湿度、温度、动态响应、抗干扰和长期稳定性等特性。结果表明:以Ce30为敏感薄膜
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