论文部分内容阅读
本文提出可变翼极高真空轨道分子屏的概念,建立了理论模型,推导出了压力表达式,计算了该分子屏的极限压力及压力曲线,翼长、翼角和压力的关系曲线.结果表明:可变翼极高真空轨道分子屏选择一定长度的翼及适当的翼角,可获得比普通分子屏低一个多量级的极限压力,达到10-13 Pa,低压工作区域也扩大了4~5倍.可变翼极高真空轨道分子屏理论的建立,会推动分子屏技术应用的发展.