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本文提出了对半导体传感器可靠性设计与工艺可靠性进行评审，并提出了评审项目要点及步骤。从而达到了主动地保证传感器的可靠性水平，并用可靠性验证试验检验这些可靠性保证措施的效果。主要讨论了硅霍尔半导体传感器，并建议执行于生产中。
硅霍尔传感器可靠性评审技术研究
【摘 要】
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本文提出了对半导体传感器可靠性设计与工艺可靠性进行评审，并提出了评审项目要点及步骤。从而达到了主动地保证传感器的可靠性水平，并用可靠性验证试验检验这些可靠性保证措施
【机 构】
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华东工业大学,沈阳仪器仪表工艺研究所
【出 处】
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传感器世界
【发表日期】
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1996年7期
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