【摘 要】
：
研究了表面预处理对GaN同质外延的影响,获得了高电子迁移率AlGaN/GaN异质结材料.通过NH_3/H_2混合气体与H_2交替通入反应室的方法对GaN模板和GaN半绝缘衬底进行高温预处理.研
【机 构】
：
专用集成电路国家级重点实验室,中国航天标准化与产品保证研究所
【基金项目】
：
国家重点研究发展计划（批准号：2017YFB0404100）资助的课题.
论文部分内容阅读
研究了表面预处理对GaN同质外延的影响,获得了高电子迁移率AlGaN/GaN异质结材料.通过NH_3/H_2混合气体与H_2交替通入反应室的方法对GaN模板和GaN半绝缘衬底进行高温预处理.研究结果表明,NH_3/H_2能够抑制GaN的分解,避免粗糙表面,但不利于去除表面的杂质,黄光带峰相对强度较高;H_2促进GaN分解,随时间延长GaN分解加剧,导致模板表面粗糙不平,AlGaN/GaN HEMT材料二维电子气迁移率降低.采用NH_3/H_2混合气体与H_2交替气氛模式处理模板或衬底表面,能够清洁表面,去
其他文献
法官素质低下，严重制约着司法独立的进程和审判方式的改革，成为导致司法腐败的症结之一，也影响着法官权威的树立和公众法治信仰的生成。提高法官素质成为推进司法改革的当务之急
目的：通过对轻微型肝性脑病患者血清样本的代谢纽学研究，寻找能够表征轻微型肝性脑病的生物标记物。方法：基于代谢组学理论，以液相色谱一质谱为核心技术，MicromassMarkerLynx软件
圣经是基督教的圣典,历来被基督徒尊为信仰与立法的准则。但是,在欧洲中世纪,它却长期被封锁于教会殿堂之中,垄断于少数高级教士之手,遭到任意篡改和歪曲,成为美化封建神权
目的：探索中西医结合治疗复发性尿路感染的可行性和疗效。方法：将68例复发性尿路感染患者随机分成两组,对照组29例单用西药常规治疗;治疗组39例在西药基础上加用口服中药。结果
“冬至”过后,就进入了“数九隆冬”天气。突然降温,人体往往不适应,常常引起感冒或上呼吸道感染,引起慢性支气管炎或哮喘病发作。此时,人们便想起了桔白、陈皮、
尊敬的许嘉璐副委员长、张怀西副主席、袁贵仁部长：尊敬的各位嘉宾、同志们、朋友们：今天，我们在这里隆重集会，纪念中国教育学会成立30周年，请允许我代表中国教育学会对各位领导、
据《中国老年报》报道,胡耀邦在北京病逝后,被送至江西省,1990年12月5日葬在江西共青城.这是根据他的遗愿办理的.他生前曾说过:“我死后埋到青山绿水之间,就是共青城。”胡耀
本研究主要通过语料库手段来调查和对比NSEC和SEFC活动指令语中的部分高频词汇和语法句式，探究NSEC如何通过增加单元话题和创设活动情景来激发学生的学习热情；练习指令语如何通
我国国有企业由于长期受计划经济体制的影响,在管理中沿用传统的行政式人事制度,没有形成有效的人力资源管理与开发模式。加入WTO后,国企面临着前所未有的挑战,经济全球化、