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胶体刻蚀技术简介及其应用探索
胶体刻蚀技术简介及其应用探索
来源 :中国基础科学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lengkuhui
【摘 要】
:
近年来,具有特殊功能的微观图案化表面引起了人们浓厚的研究兴趣,并被广泛应用于微反应器、生物传感器、微电子器件、光学器件以及生物界面等领域。在众多微观图案化表面的构
【作 者】
:
杨柏
池颖
李云峰
【机 构】
:
吉林大学超分子结构与材料国家重点实验室,吉林大学科学技术处,
【出 处】
:
中国基础科学
【发表日期】
:
2012年03期
【关键词】
:
图案化
胶体刻蚀技术
功能化界面
微纳米
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近年来,具有特殊功能的微观图案化表面引起了人们浓厚的研究兴趣,并被广泛应用于微反应器、生物传感器、微电子器件、光学器件以及生物界面等领域。在众多微观图案化表面的构筑方法中,胶体刻蚀技术备受人们关注。本文对胶体刻蚀技术的进展及其应用进行了综述,并对其发展趋势进行了展望。
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