【摘 要】
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Particle Gap是TFT-LCD制程中常见的一种缺陷.以55 UHD产品为例,Particle Gap 发生率约为1.0%,对产品良率影响较大,为提升液晶屏品质和客户满意度,急需改善此不良.文章结合不
【机 构】
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合肥鑫晟光电科技有限公司,安徽 合肥,230012群龙企业咨询(上海)有限公司,上海,200335;合肥乐凯科技产业有限公司,安徽 合肥,230041;
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Particle Gap是TFT-LCD制程中常见的一种缺陷.以55 UHD产品为例,Particle Gap 发生率约为1.0%,对产品良率影响较大,为提升液晶屏品质和客户满意度,急需改善此不良.文章结合不良现象研究 Particle Gap 的主要异物模式,最终通过改善CF研磨失败异物、沙粒状异物和透明状异物这种模式达到整体 Particle Gap 降低的效果.首先利用流程图分析影响异物模式的关键步骤,然后通过鱼骨图、决策矩阵、假设检验验证找出影响异物模式的显著因素,最后通过合力促进法总结出显著因素的最佳改善方案,导入量产并文件标准化,可平行推广至55UHD以外的其它尺寸.改善结果表明:通过以上3种异物类型的改善,55UHD Particle Gap发生率降低至少30%,为公司带来了巨大且显著的硬性节省.
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