二硫化钨/石墨烯垂直异质结阵列构筑实验方法

来源 :实验室研究与探索 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ICE867200WXM

【摘要】

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提出了一种垂直堆垛异质结阵列构筑的实验方法,有望实现二维垂直异质结的宏量制备。该方法首先利用光刻技术形成Pt/Ti金属阵列的诱导作用,使用化学气相沉积法生长二维WS2晶体

【作者】

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王震东王剑宇王立

【机构】

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南昌大学物理系

【出处】

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实验室研究与探索

【发表日期】

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2021年4期

【关键词】

：

二硫化锡石墨烯范德华异质结化学气相沉积

【基金项目】

：

国家自然科学基金项目(61764011),南昌大学教改研究项目(NCUJGLX-17-109)。

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提出了一种垂直堆垛异质结阵列构筑的实验方法,有望实现二维垂直异质结的宏量制备。该方法首先利用光刻技术形成Pt/Ti金属阵列的诱导作用,使用化学气相沉积法生长二维WS₂晶体阵列,然后用热剥离转移法将WS₂晶体阵列整体转移到石墨烯连续膜上,形成垂直堆垛的WS₂/石墨烯异质结阵列。扫描电子显微镜测试显示WS₂晶体围绕金属点生长,透射电子显微镜证实生长的WS₂晶体具有良好的结晶性能。对通过转移方法形成的异

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