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化学机械抛光是硅片表面全面平坦化的核心技术之一,其中准确有效的终点检测是影响抛光效果的重要关键.若未能有效地监测抛光工艺过程,便无法避免硅片产生抛光过度或不足的缺陷.本文在介绍CMP机制的基础上,着重阐述了当前几种CMP终点检测技术的原理及优缺点,最后讨论了CMP终点检测技术的发展趋势.
硅片CMP终点检测技术现状与发展趋势
【摘 要】
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化学机械抛光是硅片表面全面平坦化的核心技术之一,其中准确有效的终点检测是影响抛光效果的重要关键.若未能有效地监测抛光工艺过程,便无法避免硅片产生抛光过度或不足的缺
【机 构】
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四川水利职业技术学院电力工程系
【出 处】
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四川水利
【发表日期】
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2016年4期
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