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研制了一种基于 FET结构的 Pt- L a F3混合膜全固态溶解氧传感器 .对 Pt- L a F3敏感膜的敏感机制以及传感器的器件结构和响应特性进行了分析 ,并实际测试了器件特性 ,给出了在不同工作点和不同温度条件下器件的输出电压对溶解氧浓度变化的响应曲线
基于FET结构的Pt-LaF3混合膜溶解氧传感器
【摘 要】
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研制了一种基于 FET结构的 Pt- L a F3混合膜全固态溶解氧传感器 .对 Pt- L a F3敏感膜的敏感机制以及传感器的器件结构和响应特性进行了分析 ,并实际测试了器件特性 ,给出了在不同工作点和不同温度条件下器件的输出电压对溶解氧浓度变化的响应曲线
【机 构】
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【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2001年09期
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