【摘 要】
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研究了掺镁钛酸锶（ＳｒＴｉＯ３）厚膜氧传感器的敏感机理，镁在ＳｒＴｉＯ３的含量分别取１０％、２０％、３０％、４０％和５０％（摩尔分数）。实验结果表明，当温度在４００￣９００℃之间、氧分压在３８Ｐａ￣２．６×１０＾４Ｐａ之间时，所有的样品均为空穴导电型（ｐ型）半导体；镁含量为
【基金项目】
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国家科委资助,,国家自然科学基金,,丹麦DANIDA基金
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研究了掺镁钛酸锶（ＳｒＴｉＯ３）厚膜氧传感器的敏感机理，镁在ＳｒＴｉＯ３的含量分别取１０％、２０％、３０％、４０％和５０％（摩尔分数）。实验结果表明，当温度在４００￣９００℃之间、氧分压在３８Ｐａ￣２．６×１０＾４Ｐａ之间时，所有的样品均为空穴导电型（ｐ型）半导体；镁含量为４０％（摩尔分数）的ＳｒＴｉＯ３厚膜样品显示出最好的氧敏性能，在温度为５００￣８００℃时，它对氧分压变化的灵敏度为７￣８．５，
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