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边界元方法在计算衬底耦合电阻时，需要直接求解稠密矩阵方程Х＝Ｚ．Ｉ，时间复杂度为Ｏ（Ｎ＾３），Ｎ是总的衬底端口单元数，使得能计算的电路规模受到很大的限制。根据阻抗矩阵Ｘ中元素的物理意义，采用分段曲线拟合的方法。把它很好地表示成距离倒数的项式形式。在此基础上，采用多极点ＧＭＲＥＳ算法迅速求解Х＝Ｚ．Ｉ矩阵方程。时间复杂度为Ｏ（Ｎ），而结果和直接求解的结果非常接近。