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本文针对硅中杂质、缺陷对器件制作和性能的影响进行研究，提出控制杂质与缺陷的不良影响和提高器件的成品率和优品率的途径。
硅中杂质,缺陷对器件制作与性能的影响及控制
【摘 要】
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本文针对硅中杂质、缺陷对器件制作和性能的影响进行研究，提出控制杂质与缺陷的不良影响和提高器件的成品率和优品率的途径。
【机 构】
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漳州电子技术研究所
【出 处】
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漳州师院学报
【发表日期】
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1994年4期
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