低电阻TiO_2半导体薄膜

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据报道,日本名古屋工业技术试验所最近采用凝胶法研制出了低电阻TiO_2薄膜。该薄膜适用于做氧及温度传感器的敏感膜,其低电阻是利用氢还原法及添加Nb等方法实现的。实验时,所用的液胶是 It is reported that Japan’s Nagoya Industrial Technology Testing Institute recently developed a gel method low-resistance TiO_2 film. The film is suitable for oxygen and temperature sensor sensitive film, the low resistance is the use of hydrogen reduction method and the addition of Nb and other methods to achieve. Experiment, the liquid glue is used
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