蚀刻补偿工艺在阶梯线路上的应用

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本文提出了一种在板面厚度为15μm/30μm的阶梯板上制作线路宽度为75μm的阶梯线路的新型工艺——蚀刻补偿工艺。首先选用板面厚度为15μm的双面覆铜板制作板面厚度为15μm/30μm阶梯板,进而利用蚀刻补偿工艺在此阶梯板上制作线路宽度为75μm阶梯线路,最后再通过线宽、线路形貌以及蚀刻因子对所制作的阶梯线路进行评价。结果表明,该工艺简单、可靠,可广泛应用于阶梯线路制作。
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