【摘 要】
：
采用反应射频磁控溅射法在Si（100）基片上制备了ZrO2薄膜,通过高分辨电子显微镜、原子力显微镜,研究了沉积工艺参数（主要包括氧分压和沉积温度）对ZrO2薄膜的表面形貌和微结构的影
【机 构】
：
大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连大学机械工程学院
论文部分内容阅读
采用反应射频磁控溅射法在Si（100）基片上制备了ZrO2薄膜,通过高分辨电子显微镜、原子力显微镜,研究了沉积工艺参数（主要包括氧分压和沉积温度）对ZrO2薄膜的表面形貌和微结构的影响.研究结果显示:氧分压和沉积温度是影响ZrO2薄膜生长行为的重要因素.随氧分压的增大,ZrO2薄膜的表面粗糙度近乎呈线形增加的趋势,ZrO2薄膜微结构演化过程是a-ZrO2（非晶）→a-ZrO2和少量m-ZrO2（单斜）→m-ZrO2和少量t-ZrO2（四方）→m-ZrO2;随沉积温度从室温升高到550℃,ZrO2薄膜微结构演化过程是a-ZrO2（<250℃）→m- ZrO2和少量a-ZrO2（450℃）→m-ZrO2和少量t-ZrO2（550℃）;此外,根据薄膜微结构和表面形貌的研究结果,探讨了沉积温度对薄膜生长行为的影响及其物理机制.
其他文献
目的比较青年男性不同肥胖表型骨钙素水平。方法回顾性选取非肥胖代谢健康青年男性70例,代谢健康型肥胖青年男性31例,代谢异常型肥胖青年男性69例,测定体重、身高、血压,甘油
目的研究急性心肌梗死PCI不同治疗时间术后对心功能的影响。方法选取我院2016年1月至2018年1月收治的100例急性心肌梗死患者为研究对象,根据发病时间分为观察组与对照组,6h内
支气管哮喘是一种较重的呼吸系统疾病，患者常因并发肺气肿、肺心病或肺内感染而危及生命，必须高度重视。文章收集儿科和呼吸内科病房2005年1月至2012年10月64例临床资料进行回
<正> 刘禹锡的民歌体诗作在唐代西南少数民族间流传甚广。民间迎神鼓舞所唱的歌曲,“率多禹锡之辞”。这虽然只占刘禹锡诗歌创作的一小部分,但能够博得人民的喜爱,就是最高的
目的：总结分析腹腔镜手术患者在手术室中的护理风险及预防措施。方法选取80例腹腔镜手术患者作为研究对象，将其随机分为研究组与对照组，研究组在常规护理基础上进行护理风险评估
<正>高淑贞同志,山东省章丘市双山街道三涧溪村党支部书记,是"全国三八红旗手""全国优秀党务工作者""山东省优秀共产党员",2015年被中宣部评为"全国理论宣讲先进个人"。她所
目的 探讨糖尿病患者动态心电图的改变及临床意义.方法 随机选取60例糖尿病患者,另取50例健康者为对照组（两组无年龄、性别统计学差异）,对比观察动态心电图指标（心率、心律、HRV
<正> 咏物诗,是以物为吟咏对象的诗歌.虽然这“物”与“人”往往是纠缠在一起的,但无论纠缠得多紧、多深,它总是以“物”为吟咏的主体.这“物”的含义是什么呢?可以说,除了“
随着城市轨道交通建设速度加快,线路穿越城市密集建筑区地段越来越多。为了解决地铁穿越建构筑物密集的城市中心区域地铁选线难题,以天津市轨道交通5号线穿越东风立交桥区域