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追述了薄膜淀积技术的历史，按照制备手段对MEMS制造中使用的各种薄膜制造技术进行了大致的分类和对比，介绍了相应的理论研究概况，除了电镀技术之外，MEMS技术基本来自传统的IC制造工艺。
MEMS中的簿膜制造技术
【摘 要】
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追述了薄膜淀积技术的历史，按照制备手段对MEMS制造中使用的各种薄膜制造技术进行了大致的分类和对比，介绍了相应的理论研究概况，除了电镀技术之外，MEMS技术基本来自传统的IC制造
【机 构】
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中国科学院微电子研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2006年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（批准号：60576053）,国家“863”计划资助项目（批准号：2005AA404210）
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