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针对芯片倒装封装中难以利用常规机构实现芯片翻转的问题,设计了一种回转型真空吸附式芯片翻转机械手,并与目前常用的气吸式芯片翻转机构比较,结果表明,该文设计的机械手具有更高的工作效率。
真空吸附式倒装芯片翻转机械手设计
【摘 要】
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针对芯片倒装封装中难以利用常规机构实现芯片翻转的问题,设计了一种回转型真空吸附式芯片翻转机械手,并与目前常用的气吸式芯片翻转机构比较,结果表明,该文设计的机械手具有
【机 构】
：
三峡大学机械与材料学院
【出 处】
：
液压与气动
【发表日期】
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2009年10期
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