论文部分内容阅读
本文简要介绍了用于超大规模集成电路微细加工的各种曝光技术，包括光学方法，电子束、离子束和Ｘ射线技术。比较了它们的优缺点，综述了国际上近年一类这些光刻技术方面的进步以及今后的发展趋势。
VLSI曝光技术的现状与未来
【摘 要】
：
本文简要介绍了用于超大规模集成电路微细加工的各种曝光技术，包括光学方法，电子束、离子束和Ｘ射线技术。比较了它们的优缺点，综述了国际上近年一类这些光刻技术方面的进步以及今
【机 构】
：
中科院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
【出 处】
：
微细加工技术
【发表日期】
：
1995年3期
其他文献
〔关键词〕 生物学；研究方法；应用；验证；构建；培养 〔中图分类号〕 G633.91〔文献标识码〕 C 〔文章编号〕 1004—0463（2008）06（Ａ）—0061—０2 1. 元素示踪法 元素示踪法又叫放射性同位素标记法，即利用放射性探测仪器追踪放射性元素在生物体内的动态变化。该方法是核物理技术在研究生物生理代谢途径等方面的重要应用。如通常用3H标记尿嘧啶核糖核苷酸来研究R
〔关键词〕 数学教学；思维启发；多策并举；学教结合；以导为主 〔中图分类号〕 G633.6〔文献标识码〕 A 〔文章编号〕 1004—0463（2008）08（B）—0041—01 基础教育的紧迫任务是实施素质教育，而全面实施素质教育的今天，思维启发式教学得到了广大同仁和社会的认可。因此，在数学教学中，教师除了要向学生传授知识、技能外，运用思维启发式教学激发学生的独立思考意识，调动学生思
〔关键词〕 美术教育；完善；人格 〔中图分类号〕 G633.95〔文献标识码〕 A 〔文章编号〕 1004—0463（2008）06（B）—0060—01 美术教育作为教育的一个重要方面，它的主要任务不仅要传授美术知识和训练美术技能，还要引导学生内心达到良好的审美状态，使学生的不良心理得到矫正，良好的心理得到维护，最后达到提升自身的生命价值、实现美好人生的目的。 一、鉴赏美术作品，
〔关键词〕 化学课堂；点拨艺术；原则；类型 〔中图分类号〕 G633.8 〔文献标识码〕 C 〔文章编号〕 1004—0463（2008）08（Ａ）—0052—０2 点拨是教师用简练精辟的语言、鲜明生动的形式，提示或指点学生，让其通过自己的努力去获得知识、提高能力、发展智力的一种教学手段，它更是教学中的一门艺术。点拨是否恰当，也是教师是否成熟的标志。下面笔者就点拨时应遵循的原则和类型做
〔關键词〕 生物教学；创造性思维；联想；发散；逆向 〔中图分类号〕 G633.91 〔文献标识码〕 C 〔文章编号〕 1004—0463（2008）07（B）—0054—01 一、通过联想训练，培养创造性思维能力 联想是由所感知或所想的事物想起相关事物的思维活动。 1．相似联想 相似联想是指由于外形或意义相似而引起的联想。例如，当看到油菜的花时，就会想到白菜的花和萝卜的花，这
运用较为成熟的熵值评价法，再次对嘉兴电大师资队伍的发展状况进行研究，所得结论和“师资系统熵”模型的结论基本相同．这不仅表明了两种评价方法的有效性和实用性，而且证明了作者
通过SPSS13.0软件对解表类中草药中的微量元素进行主成分分析,得到了解表类中草药微量元素间的相关矩阵、特征值及方差贡献率,并对中草药的质量做了综合评价,这为中草药的研
介绍一种全息光刻技术的基本原理，全息掩模复位精度的影响，全息光刻技术的优点及其应用，并对全息光刻系统的设计考虑作了详细介绍，并给出部分实验结果。
随着经济社会的不断发展，人们的经营意识和成本核算意识也越来越强，如何提高医院的经营意识，降低经营成本，提高竞争力，已成为现代医院需要迫切解决的问题。就目前来看，我国医院还未
进入新时代,我国的信息技术也有了质的飞跃。计算机和网络技术在当下有着广阔的发展前景,应用于各行各业,所以当下对计算机软件工程的管理和应用非常重视。在互联网的影响下,