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采用阳极氧化法以NH4F/乙二醇为电解液制备高度有序的TiO2纳米管,研究了不同电解液浓度、电解电压、电解时间等参数对TiO2纳米管的影响。在不同温度下对TiO2纳米管进行退火处理。分别利用转靶X射线衍射仪（XRD）和场发射扫描电子显微镜（SEM）对TiO2纳米管阵列的物相结构和形貌变化进行表征。结合氧化过程电流密度变化探讨了TiO2纳米管的生长机理。结果表明,不同的阳极氧化参数对TiO2纳米管的形貌有着一定的影响,不同退火温度可以使TiO2纳米管的晶相结构发生转变。