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介绍了晶圆制造厂改扩建中二次配管的施工方法，通过与施工过程中各相关人员的协调，在保证安全情况下使二次配管的施工做到质量达标、进度合理，同时有效地降低了工程费用。
晶圆制造厂改扩建中的二次配管
【摘 要】
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介绍了晶圆制造厂改扩建中二次配管的施工方法，通过与施工过程中各相关人员的协调，在保证安全情况下使二次配管的施工做到质量达标、进度合理，同时有效地降低了工程费用。
【机 构】
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中国科学院微电子研究所
【出 处】
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洁净与空调技术
【发表日期】
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2016年4期
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