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本文简要介绍多晶X射线薄膜衍射技术及其应用,着重叙述Seemann-Bohlin薄膜衍射装置的原理、结构及其特点。用此装置对70～300(?)的金膜和几百埃厚的多种表面膜的衍射谱进行测定,结果表明,该装置检测薄膜和表面膜结构信息的灵敏高、速度快、是目前我国检测薄膜结构的最强有力的工具之一。
X射线薄膜衍射技术及其应用
【摘 要】
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本文简要介绍多晶X射线薄膜衍射技术及其应用,着重叙述Seemann-Bohlin薄膜衍射装置的原理、结构及其特点。用此装置对70～300(?)的金膜和几百埃厚的多种表面膜的衍射谱进行测定
【出 处】
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上海钢研
【发表日期】
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1989年6期
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