【摘 要】
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为提供外延生长用半绝缘衬底,以鉴定外延片质量和制作微波器件,已用水平区熔法在石英管中生长掺铁半绝缘磷化铟单晶。这也是我国首次试制成的掺铁半绝缘磷化铟单晶。
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为提供外延生长用半绝缘衬底,以鉴定外延片质量和制作微波器件,已用水平区熔法在石英管中生长掺铁半绝缘磷化铟单晶。这也是我国首次试制成的掺铁半绝缘磷化铟单晶。
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