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期刊论文
振子框架式微机械陀螺设计优化
振子框架式微机械陀螺设计优化
来源 :机械与电子 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hamjh
【摘 要】
:
采用多端口组件网络方法对振子框架式微机械陀螺(CGMG)进行设计,分析了主要结构尺寸对其固有频率的影响.根据陀螺驱动模态频率和检测模态的频率匹配,优化了陀螺的结构尺寸.结
【作 者】
:
余才佳
霍鹏飞
马炳和
苑伟政
姜澄宇
【机 构】
:
西北工业大学
【出 处】
:
机械与电子
【发表日期】
:
2005年3期
【关键词】
:
微机电系统
微机械陀螺
多端口组件网络
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采用多端口组件网络方法对振子框架式微机械陀螺(CGMG)进行设计,分析了主要结构尺寸对其固有频率的影响.根据陀螺驱动模态频率和检测模态的频率匹配,优化了陀螺的结构尺寸.结果表明,该方法可以实现MEMS整体行为的快速仿真,并能分析局部尺寸参数对系统性能的影响.
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