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分别在Al：ZnO（ZAO）薄膜和Mo薄膜两种不同衬底材料上，采用“三步法”共蒸发工艺沉积了约0．8Ixm厚的CuGaSe：（CGS）薄膜，用X射线衍射仪测量薄膜的织构，研究不同衬底材料对CGS薄膜的影响。在ZAO薄膜底电极上沉积的CGS薄膜的（112）衍射峰强度较Mo薄膜底电极上减弱，（220／204）衍射峰反而增强。