【摘 要】
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我们采用磁控离子溅射和后热处理的方法 ,在LaAlO3 (0 0 1 )单晶衬底上制作了 2英寸直径的双面Tl 2 2 1 2超导薄膜 .薄膜的表面均匀 ,结构致密 .X 光θ 2θ测试表明 ,薄膜具
【机 构】
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南开大学电子科学系,南开大学电子科学系,南开大学电子科学系,南开大学电子科学系,南开大学电子科学系,南开大学电子科学系,南开大学电子科学系,南开大学电子科学系 天津300071,天津300071,天津
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我们采用磁控离子溅射和后热处理的方法 ,在LaAlO3 (0 0 1 )单晶衬底上制作了 2英寸直径的双面Tl 2 2 1 2超导薄膜 .薄膜的表面均匀 ,结构致密 .X 光θ 2θ测试表明 ,薄膜具有很纯的Tl 2 2 1 2超导相 ,并具有c 轴垂直于膜面的织构 .电磁测试结果表明 ,薄膜的超导电性均匀 ,临界温度Tc 大于 1 0 0K ,临界电流密度Jc(77K ,0T)约 1× 1 0 6A/cm2 ,微波表面电阻Rs(77K ,1 0GHz)约 0 .5mΩ .
We fabricated a 2-inch diameter double-sided Tl 2 2 1 2 superconducting thin film on a LaAlO 3 (0 0 1) single crystal substrate by magnetron sputtering and post-heat treatment.The surface of the film is uniform and compact. The results of X-ray θ 2θ show that the film has a very pure Tl 2 2 1 2 superconducting phase and has a c-axis perpendicular to the film surface. The electromagnetic test results show that the superconductivity of the film is uniform and the critical temperature Tc is greater than 1 0 0K, a critical current density Jc (77K, 0T) of about 1 × 10 6A / cm 2, and a microwave surface resistance Rs (77K, 10 GHz) of about 0.5 mΩ.
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