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<正>来自美国 Ｉｏｎ Ｏｐｔｉｃｓ公司的工程师们和Ｊｅｔ Ｐｒｏｐｕｌ－ｓｉｏｎ实验室(ＪＰＬ)的研究者合作开发出了一种微小光学机电系统(ＭＯＥＭＳ)装置用于ＣＯ２探测,意欲利用光学技术在性能上的优势来取代现在的电化学方法。２００１年１０月,ＳＰＩＥ主办的“精细加工和精细制
MOEMS测辐射热仪提供了一种新的光学技术来测量气体含量
【摘 要】
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<正>来自美国 Ｉｏｎ Ｏｐｔｉｃｓ公司的工程师们和Ｊｅｔ Ｐｒｏｐｕｌ－ｓｉｏｎ实验室(ＪＰＬ)的研究者合作开发出了一种微小光学机电系统(ＭＯＥＭＳ)装置用于ＣＯ２探测,意欲利用光学技术在性能上的优势来取代现在的电化学方法。２００１年１０月,ＳＰＩＥ主办的
【出 处】
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光电子技术与信息
【发表日期】
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2002年3期
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