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提出了一种可以测量微机电系统（MEMS）面内瞬时速度和位移的测量系统。该系统利用差动激光多普勒效应，采用了频移技术和接收端的滤波技术将带有MEMS运动信息的光信号接收并解调，然后，利用LabVIEW和MaSab软件对采集的信号进行数字滤波和时频分析，从而得到被测器件的运动参量，为研究MEMS的动态特性提供了准确可靠的方法。