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使用Rsoft软件中的时域有限差分模块Fullwave分析二维介质波导和等离子波导耦合特性,利用软件仿真耦合结构并自动计算出光在介质波导和等离子波导中传输的耦合效率,进而测绘耦合效率随波导尺寸和光波长的变化曲线图,发现MDM导波结构的缝隙宽度和光通信质量密切相关,在确定尺寸下,传输损耗随传输距离成指数衰减。根据分析得到的耦合效率变化规律发现介质波导和等离子波导间距最佳点都应设为15nm,进而优化波导的几何结构参数后,可以将耦合效率提高到83%。