【摘 要】
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本文报道了采用新型“纳米颗粒-光刻胶”混合旋涂技术制作的片上射频Ni-Zn铁氧体磁膜微电感。成相良好的Ni0.3Zn0.6Cu0.1Fe2O4铁氧体纳米颗粒在光刻胶中均匀混合,再将该混合
【机 构】
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清华大学微电子学研究所,伊利诺理工大学,清华大学材料科学与工程系
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本文报道了采用新型“纳米颗粒-光刻胶”混合旋涂技术制作的片上射频Ni-Zn铁氧体磁膜微电感。成相良好的Ni0.3Zn0.6Cu0.1Fe2O4铁氧体纳米颗粒在光刻胶中均匀混合,再将该混合物涂覆在螺旋电感线圈上,实现电感性能的提升。这种新型低温工艺避免了常规制作铁氧体器件方法带来的高温处理（〉600°C）对集成电路的破坏。与无磁膜覆盖样品对比,铁氧体覆盖电感的电感量在0.1～4GHz提升了14～27%。这是实现高性能、全兼容铁氧体集成片上RFIC电感的一种很有前景的途径。
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