MEMS加速度计重力法校准的实验研究

来源 :计量技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：w__hailin

【摘要】

：

在低频范围内,受到振动位移的限制,标准振动台输出的加速度很小,致使被校加速度计的信噪比较低,产生较大的校准误差.地球重力法通过改变被校加速度计的灵敏轴与重力场的夹角,

【作者】

：

周晟阳蔡晨光王颖刘志华

【机构】

：

北京化工大学,北京,100029中国计量科学研究院,北京,100029;

【出处】

：

计量技术

【发表日期】

：

2017年12期

【关键词】

：

低频校准 MEMS加速度计地球重力法激光干涉法

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在低频范围内,受到振动位移的限制,标准振动台输出的加速度很小,致使被校加速度计的信噪比较低,产生较大的校准误差.地球重力法通过改变被校加速度计的灵敏轴与重力场的夹角,可以在低频范围内生成高达1g的加速度.本文根据这一特性设计了地球重力法校准系统,通过信号采集仪实时采集转动过程中MEMS加速度计的输出电压,并计算出在该转动频率下MEMS加速度计的灵敏度.

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