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本文采用相对灵敏度因子法,对硅中氧、碳含量的SIMS定量分析方法进行研究。通过对样品进行预溅射的方法,氧、碳的的检测限分别可达到6.0e16atoms/cm~3、2.0e16atoms/cm~3。
硅中氧、碳的二次离子质谱(SIMS)分析
【摘 要】
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本文采用相对灵敏度因子法,对硅中氧、碳含量的SIMS定量分析方法进行研究。通过对样品进行预溅射的方法,氧、碳的的检测限分别可达到6.0e16atoms/cm~3、2.0e16atoms/cm~3。
【机 构】
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电子材料研究所
【出 处】
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现代仪器
【发表日期】
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2010年02期
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