【摘 要】
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高粗机床需要高精滑台。文中介绍一种定位精度高达16nm的直线工作台设计。该工作台用钢制造，质量为100kg，用三个静压轴承全浮动支承。工作运动长度220mm具有甚高的刚性。该滑台
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高粗机床需要高精滑台。文中介绍一种定位精度高达16nm的直线工作台设计。该工作台用钢制造，质量为100kg，用三个静压轴承全浮动支承。工作运动长度220mm具有甚高的刚性。该滑台使用磨擦传动致动器，直线轴向最大平移速度10mm/s。使用闭环伺服控制，使用模控制器（IMC），自动被偿未建模的机械性能，也可使用比例积分微分控制器（PIDC）对直线滑台进行控制，控制方法中测量时使用激光干涉仪和光学直线编码器，使滑台得到甚高的定位精度。
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