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通过离子束辅助沉积在钛合金表面制备TiN膜层，以Na3PO4为电解液，在不同浓度条件下，采用微弧氧化法对钛合金表面进行氧化，以提高钛合金表面的硬度。X射线和元素成分分析表明当Na3PO4浓度增加至0．03mol／L时，钛合金表面所形成薄膜晶相为含氮元素的锐钛矿和金红石混合晶相。和已有的报道相比，有着较好的硬度。