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综合论述了化学放大光刻胶类高分子材料 ,并着重介绍 1 93nm光刻胶材料研究的最近进展。
化学放大光刻胶高分子材料研究进展
【摘 要】
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综合论述了化学放大光刻胶类高分子材料 ,并着重介绍 1 93nm光刻胶材料研究的最近进展。
【机 构】
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南开大学高分子化学研究所
【出 处】
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高分子通报
【发表日期】
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2005年02期
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