发展中的碲镉汞外延技术

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二十余年来,HgCdTe晶体一直是红外领域中占据重要地位的工作物质。在麻省理工学院(MIT)所进行的外延研究是多方面的。Lincoln Lab的有关工作也常在MIT的学术讨论会上交流。我们经常涉及到的问题是优质成膜的淀积动力学和完美的生长工艺技术。Lincoln Lab从六十年代初就开始了HgCdTe晶体材料的研制,从表面物理态到内部缺陷、不同生长工艺对晶体材料性能的影响、薄膜的微晶态分析、杂质的行为以及利用外延生长 For more than two decades, HgCdTe crystals have been the working substance in the infrared field. Outreach research at MIT is multifaceted. Lincoln Lab’s work is also often discussed at MIT’s symposium. The problems we often deal with are the deposition kinetics of high-quality film formation and the perfect growth technology. Lincoln Lab started the development of HgCdTe crystal materials from the early 1960s, from surface physical states to internal defects, the influence of different growth processes on the properties of crystalline materials, the microcrystalline analysis of thin films, the behavior of impurities and the utilization of epitaxial growth
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