【摘 要】
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采用金属有机物化学气相外延方法在(0001)面蓝宝石上生长了高质量、高阻的未掺杂(0001)面GaN薄膜.为精确测量GaN薄膜材料的声表面波特性,在GaN薄膜表面上沉积了金属叉指换能
【机 构】
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航天航空总公司二院23所声表面波公司,中国科学院声学研究所,中国科学院半导体研究所半导体材料科学实验室
【基金项目】
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国家重点基础研究发展计划(973计划);国家自然科学基金
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采用金属有机物化学气相外延方法在(0001)面蓝宝石上生长了高质量、高阻的未掺杂(0001)面GaN薄膜.为精确测量GaN薄膜材料的声表面波特性,在GaN薄膜表面上沉积了金属叉指换能器,叉指换能器采用等叉指结构,叉指的数目为40对,叉指间距为15μm.采用脉冲法测量了声表面波在自由表面和金属表面上的速度,并通过计算得到了机电耦合系数(κ2).所测量的声表面波速度(v)为5 667m/s,机电耦合系数(κ2)为1.9%.
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