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随着精密器件需求的增加以及加工方法的进步,精密微小尺寸产品的应用越来越广泛,对于精微小尺寸的检验测量要求也逐渐提高。由于传统测量手段及普通三坐标测量方法在微小尺寸的测量及测量效率上有一定的局限性,为了适应大批量产品的快速测量,提出了基于机器视觉的高精度尺寸测量检验方法,给出了测量系统组成、图片处理方法及测试分析。通过测试结果分析,测量方法能够满足精度要求。