【摘 要】
：
采用 Silvoca公司的 UTMOST模型参数提取程序对 BSIM3V3模型参数进行提取 ,得出了BSIM3V3模型参数随器件尺寸变化的规律 ,并将此方法应用于清华大学微电子所工艺线 1 .0 μm
【机 构】
：
清华大学微电子学研究所!北京100084,清华大学微电子学研究所!北京100084,清华大学微电子学研究所!北京100084
论文部分内容阅读
采用 Silvoca公司的 UTMOST模型参数提取程序对 BSIM3V3模型参数进行提取 ,得出了BSIM3V3模型参数随器件尺寸变化的规律 ,并将此方法应用于清华大学微电子所工艺线 1 .0 μm工艺 ,给出此工艺下的多尺寸器件的 BSIM3V3模型参数。同时 ,对该方法的准确性进行了分析。
The parameters of BSIM3V3 model were extracted by using Silvoca UTMOST model parameter extraction program to get the rule of the BSIM3V3 model parameters changing with the size of the device. The method was applied to the 1.0 μm process of Microelectronics Institute of Tsinghua University, BSIM3V3 model parameters for multi-size devices under this process. At the same time, the accuracy of this method is analyzed.
其他文献
[目的]建立一套麻醉恢复室护理绩效薪酬分配方案,实现多劳多得,优绩优酬的长效机制。[方法]基于以资源为基础的相对价值比率(RBRVS),建立以工作量核算为基础的、多维度综合评
本实验研究了自行合成的N-氨甲酰谷氨酸对小白鼠的亚慢性毒性。试验组别分设高、中、低3个不同剂量组,另设空白对照组,连续90 d对小鼠灌胃1.5 mg/m L N-氨甲酰谷氨酸溶液后剖
为查明温度（21、30℃）和盐度（7、15、32）互作对菲律宾蛤仔Ruditapes philippinarum免疫能力的影响,对不同温度和盐度条件下试验0、3、6、12、24、48、72 h时,体质量为（14.8±0
通过硫酸铵分段盐析、DEAE-52离子交换和Sephacryl S-100分子筛层析从黑蚂蚁(Polyrhachis vicina Roger)中纯化到一种纤溶活性蛋白,再通过SDS-PAGE凝胶电泳测定其分子质量,Br
对燕山地带的河北兴隆蓝旗营冶铁遗址、河北滦平东沟冶铁遗址、河北赤城上仓冶铁遗址进行了田野调查,对采集的炉渣、炉壁、矿石等进行了实验室分析.通过初步研究发现三处冶铁
知识型员工是企业的核心员工,他们对企业最终价值的形成起关键性的作用，所以准确评价知识型员工的工作是企业管理中的重要任务。相对于企业一般员工而言,知识型员工的工作较难
对于政府单位、公司领导层来说，如何及时了解单位外派员工出勤情况与实地工作情况是一个现实的问题。外派员工因为自身工作环境与方式的特殊性存在着信息反馈不及时，沟通真实性
电力电容器在高压电力传输方面起到无功补偿和滤波的作用。电力电容器的损坏多发生在元件电场强度集中的区域，一旦损坏将迅速影响单元甚至使整个系统无法正常工作，也会因套管尾
中国饲料加工工业在经过20多年的迅猛发展后，饲料行业的发展进入了成熟阶段。近些年来宏观经济的逐步衰退而市场竞争则日渐激烈，一些中小型饲料企业面临着严峻的考验。面对激烈
农业作为国民经济发展的基础,其发展状况和发展空间等直接决定了国家综合国力,所以受到社会各界的高度重视,我国作为农业发展历史悠久的国家,农业种植技术已经基本成熟,但传