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叙述了世界 MEMS产业和市场情况 ,介绍了当前 MEMS的设计、制造、封装和测试技术 ,最后浅析了 MEMS产品的商品化进展。
微电子机械系统(MEMS)发展研究
【摘 要】
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叙述了世界 MEMS产业和市场情况 ,介绍了当前 MEMS的设计、制造、封装和测试技术 ,最后浅析了 MEMS产品的商品化进展。
【机 构】
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东北微电子研究所
【出 处】
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微处理机
【发表日期】
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2002年03期
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