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期刊论文
超导/半导体兼容技术
超导/半导体兼容技术
来源 :微电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:candy136892
【摘 要】
:
本文首先阐述了超导 /半导体兼容技术的应用领域 ,然后给出了超导 /半导体兼容器件、电路、系统的基本构成及优点 ,最后介绍了超导技术的研究热点。
【作 者】
:
于宗光
张国华
钱文生
【机 构】
:
无锡微电子科研中心!无锡,214035,无锡微电子科研中心!无锡,214035,东南大学微电子中心!南京,210016
【出 处】
:
微电子技术
【发表日期】
:
2000年02期
【关键词】
:
超导
半导体
兼容
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本文首先阐述了超导 /半导体兼容技术的应用领域 ,然后给出了超导 /半导体兼容器件、电路、系统的基本构成及优点 ,最后介绍了超导技术的研究热点。
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