原位退火相关论文
采用直流磁控溅射及真空原位退火方法制备半导体CrSi2薄膜,研究了退火工艺和溅射工艺,通过X-射线衍射仪（X-ray diffraction-XRD）和扫......
研究了原位退火对用氢化物外延方法在(0001)面蓝宝石衬底上生长的氮化镓(GaN)外延薄膜的结构和光学性能的影响.测试表明,氨气气氛......
采用磁控溅射法和原位退火工艺在钠钙玻璃衬底上制备Mg_2Si半导体薄膜.首先在钠钙玻璃衬底上依次溅射一定厚度的Si、Mg薄膜,冷却至......
水平靶磁控溅射系统可以制备厚度为100nm以下的薄膜,且其制备的薄膜的质量要明显优于垂直靶磁控溅射系统制备的薄膜。在本实验......
高温超导材料在强电和弱电领域中的应用都非常广泛,超导薄膜可在以薄膜基础的微电子学器件上首先突破应用。高温超导材料YBa2Cu4O8......
学位
在室温下,应用对靶磁控溅射法制备了多层C/[Co5nm/Cxnm]4/C颗粒膜.C靶和Co靶分别采用了射频溅射和直流对靶溅射模式,随后进行了原......
本文采用射频磁控溅射技术,在高温下制备了原位退火的钴酸锂薄膜,并研究了溅射功率对其性能的影响。结果表明,随着溅射功率的增加,......
采用分子束外延(MBE)方法,并结合原位退火生长技术在Si(001)基片上制备了Tm2O3 薄膜,XRD 测量结果表明所制备的样品为单晶Tm2O......
本文研究了原位和非原位退火对分子束外延生长的GaInNAsSb/GaNAs/GaAs量子阱激光器的作用.通过快速热退火量子阱质量得到很大提高,......
宽禁带III-V族氮化物半导体材料在短波段发光器件、光探测器件以及抗辐射、高频和大功率电子器件方面有着广阔应用前景。本论文在......
半导体量子点是具有独特类原子性质的典型低维结构,在量子态物理、集成光电子器件、固态量子信息器件等方面具有十分重要的研究价......
本设备建立在将微波辐射降低到微瓦级的基础之上。对高熔点金属进行交流辉光溅射，对熔点低于660℃的元素进行高频或电阻加热蒸......
在室温下，我们应用对靶磁控溅射法制备了五个系列类三明治结构C/Co/C纳米颗粒膜样品：磁性层厚度变化未退火系列、磁性层厚度变化400......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
采用衬底加热溅射铜锌锡硫（CZTS）四元化合物单靶制备CZTS薄膜,并研究原位退火对制备薄膜的影响.结果表明：在溅射结束后快速升温并保持......
在室温条件下采用直流磁控溅射方法并结合原位空气退火工艺，在普通玻璃基片上，制备了不同Fe掺杂量的In2O3薄膜。实验结果表明，退火氛......
研究了原位退火对用氢化物外延方法在（0001）面蓝宝石衬底上生长的氮化镓（GaN）外延薄膜的结构和光学性能的影响．测试表明，氨气气氛下在生......
对分子束外延（MBE）生长了Hg1-xCdxTe薄膜材料进行原位退火研究。显微镜观察可知，原位退火可以得到光滑的材料表面，并可以降低材料的腐......
ZnO是属于Ⅱ-Ⅵ族的宽禁带氧化物半导体材料,具备直接带隙的性质。ZnO能否实现作为可持续发展光电材料的广泛应用的关键是制备良好......
Mg2Si是一种环境友好型半导体材料,具有良好的光电特性和热电特性,在光电探测器方面是一种很有潜力的材料。本文主要采用磁控溅射......
应用直流磁控溅射方法并结合原位退火工艺,在普通玻璃基片上制备了不同Fe掺杂的TiO2薄膜,沉积过程中保持基底温度300℃.实验结果表......
采用RF反应磁控溅射沉积ZnO薄膜，沉积完成后对薄膜进行氧气氛下的原位退火处理。薄膜的结晶状况和化学成分分别采用XRD和XPS进行分......
采用射频磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了系列ZnS薄膜,利用X射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）和荧光分光光度计研究了Ar气氛中300......
MgB2良好的超导性能使其在超导电子应用方面有着广阔的前景，高质量薄膜是超导器件的前提，原位退火制备薄膜的方法具有适合多层膜器件......
在室温下,用对靶磁控溅射法制备了系列类三明治结构C/Co/C颗粒膜.C靶和Co靶分别采用射频溅射和直流对靶溅射模式,并且随后进行了原......
应用对靶磁控溅射法在玻璃基底上制备了类三明治结构C/Co/C纳米颗粒膜,并进行了原位退火.发现磁性层厚度对C/Co/C颗粒膜的微结构和......
铜锌锡硫（Cu2ZnSnS4,简写为CZTS）作为导电类型为P型的四元化合物半导体具有锌黄锡矿结构,与铜铟镓硒（CIGS）的黄铜矿结构相似,其组成元......
基于将太阳能转换为电能的太阳能光伏技术制备的器件,太阳能电池,是一种具有可持续性、环境友好、化解困扰人类化石能源危机的有效......
