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声表面波(SAW)器件由于具有小型化、高可靠、多功能、一致性好等特点，所以它在雷达、电子战、声纳、无线通信、光纤通信及广播电视......
极紫外多层膜利用各个界面反射光的相长干涉,在极紫外波段获得了高反射率,已成为极紫外光刻设备中反射式光学系统的核心元件.本文......
本文介绍了基于速度调整的技术的均匀软X射线多层膜制备方法,并利用改进后的磁腔溅射镀膜装置,在φ150mm硅片上进行了13nm Mo/Si多......
近年来,移动通信迅猛发展,使无线电通信频带成为一个有限而宝贵的自然资源。因此它们需要更大的无线频谱宽度和向高频方向发展。声......
层层组装(layer-by-layer assembly)是组装基元基于分子间弱相互作用在基底表面制备多层膜组装体的过程,近年来已经发展成为一种相......
近年来,随着同步辐射和空间探测技术的发展,迫切需要一种能在X 射线波段提供高入射光能量的光学元件—X 射线宽带多层膜。为了适应......
多层膜反射镜是软X射线和X射线波段的一种重要光学元件,已经广泛应用于同步辐射、天文观察等研究领域。本文针对X射线波段,重点开......
