AZO膜相关论文
该文用射频偏压磁控溅射法在水冷绦纶脂胶片(PPA)上制备出了最低电阻率为3.4×10Ωcm、透过率为80﹪的InO:SnO(ITO)及电阻率为3.78×......
采用射频磁控溅射工艺在玻璃衬底上制备出c轴择优取向的ZnO：Al（AZO）透明导电薄膜，靶材为AZO（2％质量分数Al2O3）陶瓷靶。对在不同溅射功率下......
掺铝氧化锌(Al-doped ZnO，简称AZO)薄膜是一种具有高透射率和低电阻率的n型半导体透明导电薄膜，广泛应用于各种光学仪器中。随着材料......
综述了透明导电薄膜的性能、种类、制备工艺、研究及应用状况，重点介绍了掺铝氧化锌（AZO）薄膜的结构、导电机理、光电性能和当前的研......
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