R.F 相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

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R.F.平面磁控溅射ZnO压电薄膜的特性

用高淀积速率R.F.平面磁控溅射已制备出具有极好结晶取向和表面平整度的ZnO压电薄膜.通过X-射线衍射,扫描电子显微镜,反射式电子衍......

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垂直于平面磁控溅射 R.F 压电薄膜 ZnO 声表面波淀积速率

R.F.溅射工艺参数对ZnO薄膜晶粒大小及结构的影响研究

本文阐述了r.f.溅射工艺参数,如:真空室压力、r.f.溅射功率、衬底温度和沉积速率对ZnO薄膜的晶粒大小及结构的影响,并给出了研究结......

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ZnO 射线衍射垂直取向沉积速率溅射工艺 R.F 溅射功率晶粒大小

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