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chemi-mechan相关论文
6H-SiC衬底片的表面处理
相比于蓝宝石,6H-SiC是制作GaN高功率器件更有前途的衬底.本文研究了表面处理如研磨、化学机械抛光对6H-SiC衬底表面特性的影响.用......
期刊
6H-SiC
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