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改變電漿功率提升二氧化钛薄膜光觸媒特性應用於可撓式
本研究以电浆激发化学气相沉积(PECVD)法沉积二氧化钛薄膜,利用氬气(100 sccm)输送四异丙基钛酸酯(Ti (OC3H7)4)之蒸气,以氧气(15 sc......
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