大规模集成电路工艺相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

大规模集成电路工艺相关论文

自停止腐蚀工艺的观察

自停止腐蚀工艺是在大规模集成电路工艺基础上发展起来的一项腐蚀工艺, 它利用不同浓度的腐蚀剂对不同掺杂浓度的硅片腐蚀速度差异......

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自停止腐蚀工艺大规模集成电路工艺腐蚀剂微机械器件硅片腐蚀微悬梁加速度计结构

兆位电路用高纯水、气和化学试剂的质量控制

本文阐述了高纯水、高纯气和高纯化学试剂的质量对兆位电路的影响,研究了高纯水中颗粒、金属、非金属、细菌以及总有机炭对VLSI性......

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高纯水高纯气化学试剂兆位电路大规模集成电路工艺

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