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随着能源环境问题日益突出,节能减排已经成为汽车行业发展的一大趋势。轻量化技术是促进节能减排、新能源汽车生产应用的重要途径,......
采用低能离子束溅射技术制备了不同厚度的的Ni-Cr合金薄膜,并对128nm厚的Ni-Cr合金薄膜进行了快速热处理.用小角度X射线衍射,扫描......
本文研究了快速热处理工艺（RTP）在模拟的CMOS热处理工艺中对直拉硅单晶中氧沉淀和洁净区（Dz）的影响。研究表明：在模拟的CMOS热处理工艺......
为了提高晶圆片温度分布的均匀性、改善加热元件性能，采用传导与辐射耦合传热模型，对快速热处理工艺中晶圆片内传热过程进行了数值模......
采用MOCVD工艺,制备非晶态Bi4Ti3O12薄膜,然后经过快速退火处理,制备高度择优取向的Bi4Ti3O12铁电薄膜,运用X射线衍射术分析薄膜材......
