溅射薄膜相关论文
三余度智能压力传感器是采取了三路冗余设计的压力传感器,与传统压力传感器相比,该传感器具有更高的可靠性和智能性.本文给出了一......
本文基于溅射薄膜技术研制微压传感器,充分发挥溅射薄膜技术优势,通过改进芯体结构解决了输出灵敏度低的难题.使用PGA900信号调理......
气井井口压力变送器是长庆气田数字化建设重要前端设备和数据源头.长庆油田压力变送器一度依赖国外产品,研制出具有自主知识产权且......
固态压阻式动态压力传感器因具有优良动态性能，在爆炸冲击波测量技术中得到重要应用。本文阐述了通过硅片背面溅射薄膜和金扩散两种......
Egami等曾提出Fe_(80)B_(20)溅射合金的T_(Cr)比同成分液淬合金高50K;Tsumashima等则报道Fe基溅射薄膜的T(Cr)比液淬合金略低或相......
期刊
在无氧气氛下，采用射频磁控溅射法制备了ＰＬｚＴ系列薄膜，对原位溅射薄膜进行了快速退火及常规退火处理，深入研究了退火工艺对铁电薄膜结构与......
用ｒｆ溅射方法在玻璃衬底上制备了Ｂｉ置换ＤｙＩＧ薄膜。研究了λ＝５１０ｎｍ时在膜面上蒸镀Ｃｒ层后磁光膜的干涉作用。为获得最佳载噪比，给出两层膜结构盘片的最......
用XPS与AES(包括深度剖面分析,简称Profile)等电子能谱技术,考察了共溅射方法制备的Pt-TiO_2,Pt-Ti_2O_3和Pt-TiO薄膜模型催化剂在......
采用飞秒激光诱导击穿光谱(fs-LIBS)技术研究了铜铝合金溅射薄膜的时间分辨等离子体光谱特性。测量了0~1000 ns延时和100~1000 ns......
钎焊是陶瓷材料与自身或与金属、半导体等连接的最主要方法,由于金属熔液难以润湿陶瓷,传统钎焊方法通过在陶瓷钎焊面形成可被金属......
本文叙述对提供溅射薄膜光学厚度的实时监控工业用的溅射装置的改进。允许通过氦氖激光束时,设计利用在靶中心有个真空小窗口,通过......
Ge-Te系统玻璃溅射薄膜已成功地用于电改写与电擦除只读存储器,但薄膜如何从非晶态转为晶态?它的结构如何?这是关系着器件存储性......
碲氧薄膜是很有希望的可擦写光盘介质材料。本文用射频溅射技术制备碲氧系统的薄膜。测定热处理前后薄膜的光学特性(光透过率、反......
二次溅射薄膜ＳｎＯ２／ＺｎＯ是一种有用的气敏材料，本文用内转换电子穆谱（ＣＥＭＳ）方法，研究了它的气敏特性，实验结果表明，穆谱参数（同质异能移ＩＳ和四极分裂ＱＳ）随溅射......
采用热丝辅助反应溅射和等离子体增强热丝化学气相沉积（ＣＶＤ）的制备方法，获得了含有β－Ｃ３Ｎ４结晶相的ＣＮｘ薄膜．文章将重点介绍制备参数与ＣＮｘ薄膜结构的关......
在充氧气氛的真空室中用电子束快速蒸发ＮｉＯ粉末颗粒的方法制备了氧化镍薄膜，所制备的薄膜在－０．６～＋０．８Ｖ电势下无需活化即已具有很好的电致变色性能......
形状记忆合金薄膜以其功密度高、输出力和位移大成为微型机电系统领域最有潜力的微驱动材料之一。研究了丝材冷轧和溅射薄膜工艺 ,......
ＭＯＳ２溅射薄膜是空间机械应用最广的润滑薄膜材料之一，但其在潮湿空气中却存在着润滑性能退化甚至失效的问题．作者依据基础研究及使用要求......
在衬底加热条件下利用磁控溅射法制备Ge2Sb2Te5薄膜,利用X射线衍射仪表征各种沉积温度下薄膜的结构,差示扫描量热法(DSC)确定的薄......
在球－盘滑动摩擦试验机上考察了法向载荷、盘转速、基体材料和环境气压及潮湿贮存时间对ＭｏＳ２基共溅射薄膜的摩擦因数和耐磨寿命的影响．结......
美国Quantum公司推出的Q-250和Q-280型半高5 1/4英寸温式磁盘驱动器,因具有片载智能驱动器和完全执行小型计算机系统接口(SCSI),......
一、小型硬磁盘机迅速发展;磁盘开始从涂布型向薄膜型过渡。二、在薄膜型磁盘中,溅射金属薄膜磁盘的记录密度高,耐腐蚀性能好。三......
利用溅射淀积技术直接得到可用于显示器件的透明导体和光导体薄膜。这些器件主要是以铁电陶瓷板或液晶层作为控制介质的光阀结构。......
铁电溅射膜可能在集成光学领域内得到应用,尽管大多数波导作用元件以单品结构为基础。众所周知,多晶体或陶瓷材料有明显的电-光效......
本文作者用RF溅射法获得碳化硅薄膜,利用AES、XPS、TEM和UPS等现代分析仪器研究了碳化硅薄膜的结构.溅射薄膜中Si∶C=1∶1.主要化......
对于临界热敏电阻的研究,在美、日、英、俄等国家对二氧化钒相变特性的研究多侧重于单晶和溅射薄膜的探讨及其在掺杂前后晶格常数......
固态压阻式动态压力传感器因具有优良动态性能，在爆炸冲击波测量技术中得到重要应用。本文阐述了通过硅片背面溅射薄膜和金扩散......
研究了轧制获得的304 不锈钢纳米块体、磁控溅射制备的304 不锈钢纳米薄膜和304 不锈钢等，在0.05 M H2SO4 + 0.2 M NaCl 溶液中......
634所研制的“3CYJ 型溅射薄膜压力传感器于1987年2月26～28日在北京通过了部级签定。会议认为:这种新型的传感器性能优越,属于国内......
该型传感器是继研制出2CYJ型溅射薄膜压力传感器之后的又一种应变式溅射薄膜压力传感器,这种传感器用于大压力测量。它具有精度高......
在分析了传感器在现代科学技术和航空测控技术中的作用后,本文提出了在近期应发展的四大类先进传感技术与现代航空测控系统配套,它......
该文用光热技术对ＮｉＴｉ溅射薄膜进行了测量，探索了光热技术在薄膜无损检测方面运用的可行性。实验结果表明光热技术作为一种无损的检测方......
激光诱导击穿光谱(Laser induced breakdown spectroscopy，LIBS)，又称激光诱导等离子体光谱(LIPS)，是一种激光取样的原子/离子发射光......
该论文采用X-射线衍射(XRD)分析、高分辨透射电子显微术(HRTEM)、选区电子衍射(SAED)、X射线能谱分析(EDS)、电子能量损失谱(EELS)......
学位
该文在设计一系列Si/Cr原子比大于1的Cr-Si系改型溅射用合金靶材的基础上,具体研究靶材合金成分、溅射工艺与溅射膜结构、电学性能......
早在六十年前人们就发现了铁磁丝的电阻抗磁场特性,但直到1994年人们对巨磁阻抗效应（GMI效应）的研究才越来越深入和广泛。最初,人们......
该文以层间耦合为中心,并以上述几个方面为主要内容,比较细致地研究了用溅射法制备的、目前报道极少的Co/V多层膜的结构、磁性及层......
近年来随着形状记忆合金应用范围的日益扩大,对于材料特性和形状的要求也在日益提高,为此新制造工艺的开发十分活跃,并且以材料的......
航空涡轴发动机是一种输出轴功率涡轮喷气发动机,是直升机的动力系统。涡轴发动机需要精确控制燃油流量,对压力传感器的输出精度和......
综述了高阻隔性陶瓷包装材料的应用现状、发展进程、镀膜的生产工艺,以及影响其性能的各方面因素,包括基材性能、基材预处理、镀膜......
为了更好地使高阻隔性氧化硅薄膜应用于包装领域，综述了氧化硅包装材料的应用现状、发展进程、镀膜的生产工艺。......
